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在线•全数检查/计测的提案。
实现在线计测的独特的光学系数。
采用LED光源，减轻维修负担。
根据设置条件可选择光纤头。
配置“膜厚计测”、“膜厚+光学常数（屈折率，吸收系数）同时计测”2种计测方法。
通过易懂的GUI，使操作更简单。
在线计测中必不可少的触发模式的充实。
与装置•工程、CIM想配合的接口。
Z5FM-C200M —
光纤（标准型）
型号 Z5FM-FSC 3M ??? 3m
型号 Z5FM-FSC 5M ??? 5m
型号 Z5FM-FSC 7M ??? 7m
光纤（长距离型）
型号 Z5FM-FSB 3M ??? 3m
型号 Z5FM-FSB5M ??? 5m
型号 Z5FM-FSB 7M ??? 7m
软盘驱动器型号 Z5FM-FDD1 —
参考用基板
型号 Z5FM-RMS1 ???? 100 ?? φ100 mm×0.525 mm
型号 Z5FM-RMS2
